论文部分内容阅读
应用光学理论分析了一种纳米级位移分辨率的双级衍射光栅测量系统, 建立了衍射叠栅信号与对应位移的数学模型。在此基础上设计了基于激光叠栅信号的超精密平面定位系统, 该系统可实现高精度位置检测及全自动精密平面定位。针对精密定位系统存在非线性, 精确控制模型难以建立的缺陷, 将不基于模型的模糊神经网络控制理论应用于精密定位控制系统中, 构造了模糊推理反向传播(BP)神经网络控制模型。通过对光强及光强变化率的映射, 得到定位台的驱动信号。改造后的模糊控制系统具有知识自动获取功能, 能更好地适应工况环境。实验结果表明, 使用模糊神经网络控制, 控制响应快、稳定性好、稳健性强, 可有效提高定位精度及定位速度, 系统可获得±0.4 μm的定位精度。