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能同时测量纳米器件机械和电气特性的测试系统
能同时测量纳米器件机械和电气特性的测试系统
来源 :电子设计技术 | 被引量 : 18次 | 上传用户:csy355
【摘 要】
:
研究纳米级材料的电气特性通常要综合使用探测和显微技术对感兴趣的点进行确定性测量。但是,必须考虑的一个额外因素是施加的探针压力对测试结果的影响,因为很多材料具有压力相关性,压力会引起材料的电
【作 者】
:
刘洋
【机 构】
:
EDN China,
【出 处】
:
电子设计技术
【发表日期】
:
2009年04期
【关键词】
:
纳米
显徽
MEMS
NEMS
探针
nanoECR
Keithley
Hysitron
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研究纳米级材料的电气特性通常要综合使用探测和显微技术对感兴趣的点进行确定性测量。但是,必须考虑的一个额外因素是施加的探针压力对测试结果的影响,因为很多材料具有压力相关性,压力会引起材料的电
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