【摘 要】
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为验证石英晶片弯曲效应,设计了弹性环晶片夹持结构。根据弹性力学和压电学推导石英晶片弯曲应力和极化强度计算公式,接着对设计的弹性环晶片夹持结构进行受力分析,为了减少
【机 构】
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郑州航空工业管理学院航空工程学院,郑州大学机械工程学院
【基金项目】
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河南省自然科学基金项目(162300410313)资助
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为验证石英晶片弯曲效应,设计了弹性环晶片夹持结构。根据弹性力学和压电学推导石英晶片弯曲应力和极化强度计算公式,接着对设计的弹性环晶片夹持结构进行受力分析,为了减少结构变形对传感器使用影响,根据弹性力学能量原理推导出在载荷作用下该弹性环结构静刚度计算公式,并采用有限元方法进行强度和刚度校核。理论计算、有限元分析和实测均表明,该弹性环晶片夹持结构刚度> 10 kgf/um,满足传感器设计要求。该弹性环晶片夹持结构必将促进新型悬臂梁测力传感器和微执行器的研发。
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