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介绍了离子注入机中注入剂量的均匀性检测和校正,着重阐述了均匀性的检测原理、均匀性计算公式、均匀性检测和校正流程及算法.
离子注入剂量的均匀性检测和校正
【摘 要】
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介绍了离子注入机中注入剂量的均匀性检测和校正,着重阐述了均匀性的检测原理、均匀性计算公式、均匀性检测和校正流程及算法.
【机 构】
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北京中科信电子装备有限公司
【出 处】
：
微纳电子技术
【发表日期】
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2005年10期
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