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A Novel High Volume Manufacturing Method for Defect-free and High-yield SiN Micro-sieve Membranes

来源 :微电子制造学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：xingyu2266

【摘 要】

：

Micro-sieves have been widely used in medical treatment,quarantine,environment,agriculture,pharmacy and food processing.However,the manufacturing and yield impr

【作 者】

：

Yansong Liu Chao Zhao Lisong D 

【机 构】

：

KeyLaboratoryofMicroelectronicDevices&,IntegratedTechnology,UniversityofChineseAcademyofSciences

【出 处】

：

微电子制造学报

【发表日期】

：

2018年1期

【关键词】

：

micro-sieves HIGH volume manufacturing defect free HIGH yield 

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Micro-sieves have been widely used in medical treatment,quarantine,environment,agriculture,pharmacy and food processing.However,the manufacturing and yield improvement have been difficult due to multiple challenges,such as the sieve unit release defect,cr

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