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本文报道应用古代“魔镜”成像原理和现代激光技术发展起来的一种新的光反射“魔镜”检测技术。采用这项技术可以非常直观，方便地观测到直径小于１５０ｍｍ的硅抛光片及硅外延片表面存在的缺陷情况，其分辨率为０．５μｍ，由于光反射“魔镜”检测技术是一种新型的光学无损检测技术，具有探测灵敏度高，快速，无破坏性，大面积检测等优点，该项技术检测将会有更加广泛的应用前景。