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为了提取硅片表面的缺陷，对其缺陷的提取技术进行了研究，提出了改进水分岭算法进行缺陷提取。该方法首先利用形态滤波对缺陷图像进行滤波，并对滤波后梯度图像进行平滑，在去除噪声的同时很好的保持物体轮廓和细节；为了克服分水岭算法的过度分割问题，利用区域强度准则和边界强度准则对过分割区域合并，很好的解决了过分割问题。实验表明，该方法可以提取精确且封闭的缺陷边缘轮廓，为进一步的缺陷特征量的提取奠定了基础。