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光刻技术在流体动力密封研究中的应用
光刻技术在流体动力密封研究中的应用
来源 :火箭推进 | 被引量 : 0次 | 上传用户:wangbuhe
【摘 要】
:
主要介绍了流体动力密封螺旋槽动环光刻工艺的特点、原理、工艺过程、工艺流程、槽深控制方法以及应用情况,提出了采用高能束流刻蚀螺旋槽动环的新途径.结果表明,采用标准MEM
【作 者】
:
宁建华
【机 构】
:
陕西动力机械设计研究所
【出 处】
:
火箭推进
【发表日期】
:
2005年4期
【关键词】
:
光刻
密封
应用
photoetching seal application
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主要介绍了流体动力密封螺旋槽动环光刻工艺的特点、原理、工艺过程、工艺流程、槽深控制方法以及应用情况,提出了采用高能束流刻蚀螺旋槽动环的新途径.结果表明,采用标准MEMS光刻工艺技术和化学铣切工艺技术,可加工出满足设计要求的螺旋槽动环.
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