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浴光学偏转超微检测原理出发，严格地分析了在激光光源具有一定空间光强分布的情况春检测的结果，我们发现激光源的空间光强分 在超微力检测条件下对检测结果没有影响，即其ＰＳＤ的输出信号完全正克地反应了悬壁梁的受力大小。
激光光强分布对原子力显微镜中光学偏转法检测结果的影响
【摘 要】
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浴光学偏转超微检测原理出发，严格地分析了在激光光源具有一定空间光强分布的情况春检测的结果，我们发现激光源的空间光强分 在超微力检测条件下对检测结果没有影响，即其ＰＳＤ的输出
【机 构】
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中国科学技术大学精密机械与精密仪器系
【出 处】
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光学精密工程
【发表日期】
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1997年1期
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