AP-CVD法制备的二氧化钛薄膜结构及亲水性研究

来源 :真空科学与技术学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：genglb119

【摘要】

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基于实现在线镀膜的目的,研究了以TiCl4为钛源,用AP-CVD法在玻璃基板上制备TiO2薄膜的工艺.利用扫描电子显微(SEM)技术和X射线衍射(XRD)技术,研究了不同基板反应温度下薄膜的

【出处】

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真空科学与技术学报

【发表日期】

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2004年期

【关键词】

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二氧化钛薄膜 AP-CVD 亲水性 TiCl4

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基于实现在线镀膜的目的,研究了以TiCl4为钛源,用AP-CVD法在玻璃基板上制备TiO2薄膜的工艺.利用扫描电子显微(SEM)技术和X射线衍射(XRD)技术,研究了不同基板反应温度下薄膜的表面形貌和晶体结构,分析了表面形貌和结构对亲水性的影响.结果表明通过改变反应温度可以控制锐钛矿和金红石的相对量,薄膜的亲水性和表面形貌、粗糙度有密切的关系.

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