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在洁净室里,采用在氩气保护下进行高纯三氯氢硅的挥发,然后用高纯酸溶解,用高分辨电感耦合等离子体质谱仪检测痕量金属杂质,方法的检出限为 0.45 ～ 14.6 ng/kg,加标法回收率为89.6% ～108.2%.前处理简单、快速,避免了在样品前处理时的污染问题,检测结果准确可靠.
太阳能级多晶硅用三氯氢硅中金属杂质的检测方法
【摘 要】
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在洁净室里,采用在氩气保护下进行高纯三氯氢硅的挥发,然后用高纯酸溶解,用高分辨电感耦合等离子体质谱仪检测痕量金属杂质,方法的检出限为 0.45 ～ 14.6 ng/kg,加标法回收率为
【机 构】
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上海市计量测试技术研究院
【出 处】
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上海计量测试
【发表日期】
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2017年3期
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