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本文针对非球面莫尔测偏法提出了采用相移技术结合傅里叶变换进行数据处理的新方法，在对莫尔条纹图作二维傅里叶变换后可获取相应于被测表面高度的相位信息，然后用相移来确定该位信息的正负号，以最终正确重构测表面的三维形貌，对有限宽莫尔条纹图因栅线夹角引起的倾斜项误差要用最小二乘法加以剔除，用该法进行了非球面测量。