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第三代多功能等离子体浸没离子注入(PIII)装置的强流脉冲阴极弧金属等离子体源既具有强的镀膜功能, 同时也具有强的金属离子注入功能;它的脉冲高压电源能输出大的电流;并可获得高的注入剂量均匀性.该装置既能执行离子注入,又能把离子注入与溅射沉积,镀膜结合在一起,形成多种综合性表面改性工艺.本文描述了它的主要设计原则、主要部件的特性以及近期的研究工作成果.