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研究了以柔性铰链为转动副的微位移机构中柔性铰链的转角变形和受拉变形与外加载荷及铰链的几何参数的关系：对单向平动微位移机构做了细致的受力分析，推导出了一定结构参数下该机构在受力时的封闭方程，从而得到在此机构上的工作台面的平动位移公式。通过设计正交试验表，用有限元软件对位移公式所做验证的结果表明理论模型分析基本符合模拟的结果。