【摘 要】
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美国NASAlily：Is研究中心和国防部预研规划局（DARP）联合投资在NASA进行4H-SIC器件的研究（大功率器件）。本研究中的X射线形貌研究得到了美国陆军研究局的支持（合同号DAAHpo一叨一G-o
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美国NASAlily：Is研究中心和国防部预研规划局（DARP）联合投资在NASA进行4H-SIC器件的研究（大功率器件）。本研究中的X射线形貌研究得到了美国陆军研究局的支持（合同号DAAHpo一叨一G-opl和DAAH04-94-G-012）。形貌是在StonyBrook同步加速器形貌设备上完成的，波线X-19C来自松下同步加速器光源。美国加紧研究4H-SiC器件@石松
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