【摘 要】
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一般来说,集成电路在研发、制造和应用过程中的失效不可避免。随着人们对产品质量和可靠性要求的不断提高,失效分析工作也显得越来越重要。通过芯片失效分析,找出导致集成电
【基金项目】
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上海市科学技术委员会集成电路研发基金(15511107100)
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一般来说,集成电路在研发、制造和应用过程中的失效不可避免。随着人们对产品质量和可靠性要求的不断提高,失效分析工作也显得越来越重要。通过芯片失效分析,找出导致集成电路失效的主要原因,分析其失效的机理,采取相应的技术措施来有效地规避集成电路类似的失效问题。阐述一般失效分析的步骤及过程,并基于一款0.18μm工艺平台制造的电能计量芯片的晶格位错失效进行了失效分析,失效机理的探讨,合理的试验设计最终找到了一组最优的工艺条件,从根本上解决了晶格位错问题,大大提升了晶圆的良率。希望通过本文的阐述以及分析能够对在芯片制
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