【摘 要】
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介绍了作者近年来在硅微机械加工技术和半导体集成电路技术相结合的基础上研制的硅微机械与光纤组合式阵列声传感器、集成硅微机械光压力传感器和微型多道成像光谱分析系统的
【机 构】
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重庆大学国家教委光电技术及系统开放实验室
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介绍了作者近年来在硅微机械加工技术和半导体集成电路技术相结合的基础上研制的硅微机械与光纤组合式阵列声传感器、集成硅微机械光压力传感器和微型多道成像光谱分析系统的结构、工作原理及制造工艺．
In this paper, the authors introduced silicon micromachined and fiber optic array acoustic sensors, integrated silicon micro-machined light pressure sensors and micro-multi-channel imaging spectroscopy system based on the combination of silicon micromachining technology and semiconductor integrated circuit technology in recent years. Structure, working principle and manufacturing process.
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