精密工作台误差测试系统

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精密工作台是超大规模集成电路制造设备中的典型机构。在实验室设备的基础上,研制了一套精密工作台误差动态测试系统。该系统采用8098单叶机实现分频、比相和误差计算。系统集数据采集和处理为一体,比相范围大,测试精度高,柔性好。使用方便。 Precision workbench is a very large scale integrated circuit manufacturing equipment in the typical agency. On the basis of laboratory equipment, a set of precision table error dynamic test system was developed. The system uses 8098 single leaf machine frequency, phase and error calculation. System data collection and processing as a whole, than the phase range, high precision, good flexibility. Easy to use.
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