【摘 要】
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In this paper, a substrate removing technique in a silicon Mach–Zehnder modulator (MZM) is proposed and demonstrated to improve modulation bandwidth. Based on the novel and optimized traveling wave electrodes, the electrode transmission loss is reduced, a
【机 构】
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WuhanNationalLaboratoryforOptoelectronics,SchoolofOpticalandElectronicInformation,HuazhongUniversity
【出 处】
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PhotonicsResearch
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In this paper, a substrate removing technique in a silicon Mach–Zehnder modulator (MZM) is proposed and demonstrated to improve modulation bandwidth. Based on the novel and optimized traveling wave electrodes, the electrode transmission loss is reduced, and the electro-optical group index and 50 Ω impedance matching are improved, simultaneously. A 2 mm long substrate removed silicon MZM with the measured and extrapolated 3 dB electro-optical bandwidth of
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