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介绍了新型自动化光度法椭圆偏振光谱仪的研制.测试结果表明:仪器对椭偏参数tanψ的重复性测量精度为±0.000 4,cos△的重复性测量精度为±0.001,膜厚的相对误差小于0.5%.
自动化椭圆偏振光谱仪的研制
【摘 要】
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介绍了新型自动化光度法椭圆偏振光谱仪的研制.测试结果表明:仪器对椭偏参数tanψ的重复性测量精度为±0.000 4,cos△的重复性测量精度为±0.001,膜厚的相对误差小于
【机 构】
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中山大学理工学院∥光电材料与技术国家重点实验室,暨南大学理工学院
【出 处】
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中山大学学报：自然科学版
【发表日期】
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2005年1期
【基金项目】
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国家自然科学基金，广东省科技厅科技计划，中山大学校科研和教改项目
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