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基于双玻璃晒架系统的对位精度的设计
基于双玻璃晒架系统的对位精度的设计
来源 :印制电路信息 | 被引量 : 0次 | 上传用户:adzqx2009
【摘 要】
:
分析了双玻璃晒架系统所具有的优越性能,通过大量实验,得出了所设计的双玻璃晒架系统能够实现底片吸附功能,而且重复对位精度达到±12.5μm,最后展望了双玻璃晒架的美好前景。
【作 者】
:
吴琼
【机 构】
:
西南科技大学信息工程学院
【出 处】
:
印制电路信息
【发表日期】
:
2006年2期
【关键词】
:
图形转移
曝光机
双玻璃晒架
重复对位精度
graphic transitions
exposure machine
glass-glass-frames
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分析了双玻璃晒架系统所具有的优越性能,通过大量实验,得出了所设计的双玻璃晒架系统能够实现底片吸附功能,而且重复对位精度达到±12.5μm,最后展望了双玻璃晒架的美好前景。
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