论文部分内容阅读
为了实现微纳台阶样板表面三维尺寸的快速精确计量,设计了计量型白光干涉显微镜.针对白光干涉显微镜获取的干涉图像,提取表面各测量位置的干涉信号,使用小波变换滤除信号噪声,建立白光干涉信号数学模型,使用Hilbert提取干涉信号的包络曲线,从干涉图像中解调出被测样品表面的三维形貌信息.对标称值为281nm和4430nm的台阶样板进行了测量,测量标准差为0.8nm和7.9nm,相对示值误差为0.6％和0.4％,实验结果表明:Hilbert变换算法能够快速精确地解算出表面相对高度,具有较高的运算效率和运算精度.