【摘 要】
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考虑高精度子孔径拼接干涉测量技术对自动化拼接的要求,提出了一种子孔径零条纹自动快速调节方法。分析了干涉条纹数量对拼接误差的影响,分析显示：当子孔径干涉条纹数量少于5
【机 构】
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中国科学院上海光学精密机械研究所信息光学与光电技术实验室
【基金项目】
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国家科技重大专项资助项目（No.2011zx02402-003）
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考虑高精度子孔径拼接干涉测量技术对自动化拼接的要求,提出了一种子孔径零条纹自动快速调节方法。分析了干涉条纹数量对拼接误差的影响,分析显示：当子孔径干涉条纹数量少于5条时,干涉仪回程误差小于λ/50（PV值）。对子孔径拼接测量装置进行了结构优化,提出了拼接位移台角位移偏差自动补偿方法,实现了各个子孔径的零条纹测量,进而控制了子孔径拼接的累积误差。对450mm×60mm长条镜进行了子孔径拼接干涉测量,结果表明：自动测量结果与手动调整零条纹测量结果在面形分布上更为一致;但前者测量速度及测量效率都有所提
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