【摘 要】
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目的研究温度对铌酸锂晶片的磨削减薄影响。方法利用恒温水浴装置对磨削减薄过程中的铌酸锂晶片进行温度控制,将铌酸锂晶片减薄至80μm,并将温度分别控制在室温25、45、60、7
【机 构】
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浙江工业大学特种装备制造与先进加工技术教育部重点实验室浙江省特种装备制造与先进加工技术重点实验室
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目的研究温度对铌酸锂晶片的磨削减薄影响。方法利用恒温水浴装置对磨削减薄过程中的铌酸锂晶片进行温度控制,将铌酸锂晶片减薄至80μm,并将温度分别控制在室温25、45、60、75℃,所用设备为卧式减薄机,杯形砂轮的转速为200 r/min,工件进给量为0.002 mm/min。结果 SEM结果显示,铌酸锂晶片磨削后会有不同程度的断裂。利用TEM测试发现,温度为25℃时,铌酸锂晶片是单晶结构。温度为45℃时,内部既有单晶结构,也有多晶结构。随着温度的上升,铌酸锂晶片多晶结构的比重逐渐增大,单晶结构越来越少。因此
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