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通过对单晶硅片金刚线切割冷却液回收系统的研究,在满足生产要求的同时可以进一步降低生产成本,进而达到产业化推广。
硅片金刚线切割液回收系统研究
【摘 要】
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通过对单晶硅片金刚线切割冷却液回收系统的研究,在满足生产要求的同时可以进一步降低生产成本,进而达到产业化推广。
【机 构】
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曲靖阳光能源硅材料有限公司,锦州阳光能源有限公司
【出 处】
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科学与信息化
【发表日期】
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2021年4期
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