【摘 要】
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通过对化学气相沉积法合成的六角形石墨烯晶畴进行H 2刻蚀，发现在铜衬底上合成的六角形石墨烯晶畴具有两种与降温过程有关的边缘刻蚀模式，揭示了在化学气相沉积的降温过程中石
【机 构】
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渤海大学新能源学院,锦州师范高等专科学校
【基金项目】
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国家自然科学基金(21273137)
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通过对化学气相沉积法合成的六角形石墨烯晶畴进行H 2刻蚀，发现在铜衬底上合成的六角形石墨烯晶畴具有两种与降温过程有关的边缘刻蚀模式，揭示了在化学气相沉积的降温过程中石墨烯晶畴边缘形态的改变。利用原子力显微镜对石墨烯晶畴进行观测，证明了在降温过程中石墨烯晶畴的边缘发生弯曲，并且下沉到铜衬底中。通过改变刻蚀温度对石墨烯晶畴进行H 2刻蚀，发现石墨烯晶畴的边缘在降温过程中的形态改变增强了铜衬底对其的保护作用，能够在一定温度范围内避免晶畴边缘发生H 2刻蚀，同时，证明了刻蚀温度在石墨烯的H 2刻蚀过程中起着非常重
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