【摘 要】
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金刚石由于其低的介电常数、高的导热率和优良的机械性能,将其应用于微波管改善其散热性能取代传统有毒的氧化铍陶瓷,是微波管螺旋线优良的支撑材料.本文首次采用等离子体化
【机 构】
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电子科技大学物理电子学院成都610054
【基金项目】
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电子工业部电子科学研究院预研项目，电子科技大学校科研和教改项目
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金刚石由于其低的介电常数、高的导热率和优良的机械性能,将其应用于微波管改善其散热性能取代传统有毒的氧化铍陶瓷,是微波管螺旋线优良的支撑材料.本文首次采用等离子体化学气相沉积法在行波管夹持杆上沉积金刚石厚膜,经材料和慢波组件性能测试,获得了较好的实验结果:导热率12 W/cm*℃,介电常数为5.0～5.3,介质损耗为1×10-3,体积电阻率约1013Ω*cm;慢波组件导热性能与同结构的BeO组件相比提高3.0倍.表明该薄膜能满足大功率行波管的设计、工艺技术要求.
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