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采用激光刻蚀的方法来实现非制冷热释电红外焦平面探测器的网格化，分别在空气中和碱溶液中使用紫外激光对钛酸锶钡（BST）材料进行划线，分析了溶液和激光参数的影响。使用KOH溶液作为辅助介质时，获得了宽为8μm，深约25μm，边缘光滑，侧壁垂直度高的微槽，已满足了实际应用要求。
激光刻蚀法网格化热释电红外焦平面探测器的实验研究
【摘 要】
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采用激光刻蚀的方法来实现非制冷热释电红外焦平面探测器的网格化，分别在空气中和碱溶液中使用紫外激光对钛酸锶钡（BST）材料进行划线，分析了溶液和激光参数的影响。使用KOH溶液作
【机 构】
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烟台大学光电学院,深圳市木森科技有限公司
【出 处】
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红外技术
【发表日期】
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2009年7期
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