【摘 要】
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(美国俄亥俄州克里夫兰市 2 0 0 3年 9月 1 2日报导 ) Keithley仪器公司 (NYSE :KEI)推出具有 40GHz射频测量性能的S63 0DC/RF参数测试系统。此性能扫清了对先进半导体器件
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(美国俄亥俄州克里夫兰市 2 0 0 3年 9月 1 2日报导 ) Keithley仪器公司 (NYSE :KEI)推出具有 40GHz射频测量性能的S63 0DC/RF参数测试系统。此性能扫清了对先进半导体器件对超薄栅极介质进行精确量测的主要障碍。时至今日 ,我们还无法对接近 0 . 5nm厚的栅极介质进行精确的电
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