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本文通过对半导体工业的有机废气净化工艺及设备的分析,总结了各种净化工艺特点和应用的范围,在扩建工程中选择了合理的净化工艺及设备。经过一年的生产验证,有机废气达到国家大气污染物排放标准,与现有废气处理设备相比,节省了投资、降低了运行成本,经济效果明显。
有机废气净化工艺的选择及效果
【摘 要】
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本文通过对半导体工业的有机废气净化工艺及设备的分析,总结了各种净化工艺特点和应用的范围,在扩建工程中选择了合理的净化工艺及设备。经过一年的生产验证,有机废气达到国
【机 构】
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首钢日电电子有限公司
【出 处】
：
矿冶
【发表日期】
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2007年02期
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