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本文介绍的以激光波长为测量基准，以单尺反转误差分离为基本测量原理的高精度直线度基准装置，具有结构简单，工作稳定，测量精度高，且测量误差不随被测尺长的加长而增大的特点。该装置的主要技术指标为：分辨力４ｎｍ，示值变动性≤±５０ｎｍ，被测尺长范围１ｍ，测量不确定度为≤±０．１ｕｍ／ｍ。
高精度直线度基准装置
【摘 要】
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本文介绍的以激光波长为测量基准，以单尺反转误差分离为基本测量原理的高精度直线度基准装置，具有结构简单，工作稳定，测量精度高，且测量误差不随被测尺长的加长而增大的特点。该装
【机 构】
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哈尔滨工业大学
【出 处】
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仪器仪表学报
【发表日期】
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1995年S1期
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