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本文研究了PtSi-SBD的结构和光产额.由光产额模型可知,采用薄PtSi光腔结构和降低肖特基势垒可提高量子效率.利用光的共振吸收模型,通过计算机模拟计算表明,引入抗反射层,优化光腔结构可以大大提高光的吸收率.同时,PtSi膜厚在1～2nm时,PtSi-SBD的量子效率系数最大.
PtSi-SBD光腔结构的共振吸收模型
【摘 要】
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本文研究了PtSi-SBD的结构和光产额.由光产额模型可知,采用薄PtSi光腔结构和降低肖特基势垒可提高量子效率.利用光的共振吸收模型,通过计算机模拟计算表明,引入抗反射层,优化
【机 构】
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电子科技大学,光电信息学院,四川,成都,610054
【出 处】
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2004全国图像传感器技术学术交流会
【发表日期】
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2004年12期
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