论文部分内容阅读
化学刻蚀是石英传感器制造中常用的工艺方法。化学刻蚀必须解决腐蚀液和保护膜两大问题，腐蚀液浓度，温度，石英材料的质量，抛光质量等对传感器表质量，尺寸精度，性能有影响。
石英传感器刻蚀工艺研究
【摘 要】
：
化学刻蚀是石英传感器制造中常用的工艺方法。化学刻蚀必须解决腐蚀液和保护膜两大问题，腐蚀液浓度，温度，石英材料的质量，抛光质量等对传感器表质量，尺寸精度，性能有影响。
【机 构】
：
哈尔滨工程大学707＃,哈尔滨铁路成人中专150001,150001,150001
【出 处】
：
传感器世界
【发表日期】
：
1998年3期
其他文献
黄野螟(Heortia vitessoides Moore)是典型的寡食性害虫,仅危害沉香属和漆树属的几种植物,其中以白木香为主要被危害对象,具有暴发性、暴食性的特点。本文综述其分类地位、分
排球运动是一项隔网对抗项目,其特征是在时间知觉和空间知觉的协调统合中完成动作或阻碍对方,排球运动中球始终在空中飞行,运动员触球的时间非常短促,因此要求运动员对时间有
思想品德课是一门奠定中学生思想道德品质健康发展的综合性必修课程,它对于陶冶学生情操、发展学生思维、培养学生健全人格有着极其重要的作用。讨论式教学法在思想品德中的
石英和BK7玻璃是常用的光学材料和微系统材料.用Ar作为工作气体对石英和BK7玻璃及其掩模材料AZ1350的离子束刻蚀特性进行了研究,分析了离子能量、离子束流密度和离子束入射角
在广西东兰县隘洞镇板栗经营示范基地内,从板栗品种选择、林下间作、施肥管理以及病虫害防治等进行了综合培育技术措施,并进行了投入产出的经济效益分析。为该区域板栗的可持
传统的授课式单片机教学是晦涩难懂的,这极大的降低了学生们的学习兴趣和热情。本文讨论了基于Proteus和Keil的单片机教学方式:建立虚拟实验室,让学生随堂学随堂练,由于这种
高中生不仅仅处在身体发育的巅峰时期,也处在人生观形成的关键时期。作为必修课程,高中思想政治课是使学生系统地接受政治教育、道德教育、知识教育的主要途径,也是帮助学生
基于减振器简化等效模型分析了某动车组车辆系统动力学性能随抗蛇行减振器安装刚度不同的变化情况，并且比较了考虑构架结构弹性振动对这种变化的影响。结果表明，抗蛇行减振器安
通过系统分析陇县烟区烟农群体的现状、存在的问题及烟农流失的主要原因,针对性地提出了陇县职业烟农队伍建设对策,主要包括建立职业烟农认定标准和程序,完善服务和培训保障