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声表面波传感器
声表面波传感器
来源 :传感器技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:wuyongliang0907
【摘 要】
:
评述了用于物理敏感和化学敏感的声表面波传感器的现状和进展。 The status and progress of the SAW sensors for physical and chemical sensitivities are reviewed.
【作 者】
:
秦树基
【机 构】
:
同济大学
【出 处】
:
传感器技术
【发表日期】
:
1993年02期
【关键词】
:
声表面波传感器
传感器应用
信号处理电路
集成传感器
压电传感器
化学传感器
叉指换能器
兰姆波
厚膜
温度传感器
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评述了用于物理敏感和化学敏感的声表面波传感器的现状和进展。 The status and progress of the SAW sensors for physical and chemical sensitivities are reviewed.
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