脉冲激光沉积类金刚石薄膜涂层研究

来源 :金刚石与磨料磨具工程 | 被引量 : 0次 | 上传用户:zuiainivip
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利用YAG脉冲激光器的355nm和532nm波长制备类金刚石薄膜,采用电极放电法来激发激光等离子体出射簇,发现可较好地提高薄膜的红外透过率;薄膜的红外吸收谱中没有C-H吸收带,具有较好的金刚石特性;薄膜可作为红外光学元件和有机小型机械的耐磨涂层。
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