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<正> 1 半导体电热膜成膜及导电机理1.1 成膜机理在SnCl4的水溶液中配入SbCl3的溶液,经雾化、高温（800℃～1000℃）分解,使其在基体（石英玻璃、陶瓷、微晶玻璃等）表面沉积,形成一层导电透明薄膜,反应如下
半导体电热膜的性能及其应用前景
【摘 要】
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<正> 1 半导体电热膜成膜及导电机理1.1 成膜机理在SnCl4的水溶液中配入SbCl3的溶液,经雾化、高温（800℃～1000℃）分解,使其在基体（石英玻璃、陶瓷、微晶玻璃等）表面沉积,形成一层
【机 构】
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河北大学
【出 处】
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物理通报
【发表日期】
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2003年06期
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