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湿法刻蚀对Si基片孔点阵及ZnO外延薄膜周期形貌的影响

来源 :物理学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：tp153c

【作 者】

：

崔秀芝  张天冲  梅增霞  刘章龙  刘尧平  郭阳  苏希玉 

【出 处】

：

物理学报

【发表日期】

：

2009年01期

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