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一、绪言用减成法工艺制造精细图形受到一定的限制，这是因为在蚀刻过程中，不可避免地产生侧蚀现象。这是蚀刻速率通过表面蚀刻的非均匀性所致（见图1所示），除此之外，印制板的顶面和底面蚀刻速率也不相同。因此，就需要对减成法工艺从蚀刻过程、蚀刻使用的专用设备、化学药品和干膜抗蚀剂的成果的发展，
减成法制造精细线路
【摘 要】
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一、绪言用减成法工艺制造精细图形受到一定的限制，这是因为在蚀刻过程中，不可避免地产生侧蚀现象。这是蚀刻速率通过表面蚀刻的非均匀性所致（见图1所示），除此之外，印制板的顶面和
【出 处】
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印制电路资讯
【发表日期】
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2007年6期
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