【摘 要】
：
为了探索能大幅提高灵敏度的全新检测模式,针对频率检测和模态局部化检测两种检测模式的静电负刚度微机电加速度计,进行了原理分析和仿真比较。通过分析两种检测模式下加速度
【基金项目】
：
江苏省自然科学基金(BK20190471)
论文部分内容阅读
为了探索能大幅提高灵敏度的全新检测模式,针对频率检测和模态局部化检测两种检测模式的静电负刚度微机电加速度计,进行了原理分析和仿真比较。通过分析两种检测模式下加速度计的敏感、检测原理,推导出其振动方程和检测信号的理想模型。研究发现系统的耦合系数和静电力是影响灵敏度与线性度的关键因素,并对此进行了有限元仿真与分析。仿真分析结果表明基于模态局部化检测的加速度计灵敏度为4.8/g,相对灵敏度为3800000 ppm,与传统频率检测方式相比相对灵敏度提高了三个数量级。同时耦合系数与模态局部化检测的加速度计相对灵敏度
其他文献
在我国的经济结构中,中小企业是不可或缺的一部分,特别是近些年在国家鼓励自主创新、万众创业的浪潮下,中小企业如雨后春笋般不断涌现,而今已经成为我国国民经济中强有力的支
目的:研究多普勒超声在检测高血压患者颈动脉以及血脂方面的临床价值。方法:选择2019年1月—2020年6月来我院就诊的68位高血压患者作为本次观察组研究对象,另外募集68位健康
针对智能手机导航在车辆驶入地下车库、高架及隧道等GNSS信号遮蔽环境中,无法保持连续、可靠定位的问题,提出了一种基于智能手机的车辆多源融合导航方法。利用地磁异常特征、里程信息辅助,完成车辆位置的实时匹配解算。同时,结合GNSS定位、测速结果,MIMU惯性测量信息,车载诊断系统中的轮速及车辆运动约束,进行多源融合处理,估计并校正MIMU惯性解算误差。跑车试验表明,所提出的方法能够在城市复杂应用环境中
目的:探究分析高血压继发心脏血管疾病的超声诊断价值。方法:选取2019年1月—2020年1月于我院进行治疗的高血压继发心脏血管疾病患者90例,并随机分为对照组和观察组各45例,对