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提出一种制造MEMS微器件的新技术——超声电解复合微细加工；设计微细加工工艺系统，进行一系列微细加工基础工艺试验，验证超声电解复合微细加工在微器件制造中的可行性．展示了该技术在提高微细加工精度、效率、表面质量等方面的优势，研究成果对完善MEMS器件制作技术具有重要理论意义与实用价值。
制作微器件的超声电解复合微细加工基础研究
【摘 要】
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提出一种制造MEMS微器件的新技术——超声电解复合微细加工；设计微细加工工艺系统，进行一系列微细加工基础工艺试验，验证超声电解复合微细加工在微器件制造中的可行性．展示了该技
【机 构】
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扬州大学机械工程学院,南京航空航天大学机电学院
【出 处】
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电加工与模具
【发表日期】
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2006年2期
【基金项目】
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中国博士后基金资助（20034382）,江苏省高校自然科学基金项目（02KJB460009）
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