基于纳米操作的纳米线钎焊结构组装及互连

来源 :中国激光 | 被引量 : 0次 | 上传用户：zemo283167

【摘要】

：

近年来,纳米线在纳米电子学、纳米光子学、纳米医学和纳米机电系统等领域的应用逐渐广泛,纳米线的连接已经成为未来器件小型化和集成化的关键问题。为了实现良好的纳米线互连,提出了一种基于扫描电子显微镜(SEM)的纳米线-纳米钎料原位互连结构组装、钎焊互连的方法。利用开发的SEM纳米操作平台,实现了直径为100 nm左右的ZnO纳米线与直径为180~300 nm的Ag纳米钎料的同基底互连结构组装。利用SEM聚焦电子束辐照熔融纳米钎料实现了纳米线钎焊互连,利用双探针纳米操作系统对焊接后的纳米线进行电流-电压(I-V)

【作者】

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管延超王根旺王扬丁烨杨立军

【机构】

：

哈尔滨工业大学微系统与微结构制造教育部重点实验室,哈尔滨工业大学机电工程学院

【出处】

：

中国激光

【发表日期】

：

2021年8期

【关键词】

：

集成光学钎焊纳米操作纳米线互连组装电子束辐照

【基金项目】

：

国家重点研发计划(2017YFB1104900),中国博士后科学基金面上资助(2020M670900),黑龙江省博士后面上资助(LBH-Z20054)。

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