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本文讨论了圆光栅细分误差及其测量,提出了不采用高精度标准件的圆光栅细分误差测量法——时间平均法,并通过实际测试结果证明了时间平均法的可行性。
圆光栅细分误差的动态测量
【摘 要】
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本文讨论了圆光栅细分误差及其测量,提出了不采用高精度标准件的圆光栅细分误差测量法——时间平均法,并通过实际测试结果证明了时间平均法的可行性。
【机 构】
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上海机械学院仪器仪表学院,上海机械学院仪器仪表学院
【出 处】
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上海机械学院学报
【发表日期】
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1989年3期
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