溶胶-凝胶法制备SrBi2Ta2O9(SBT)铁电薄膜的研究

来源 :陶瓷学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：tsgistsgis

【摘要】

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以乙醇钽、醋酸锶和硝酸氧铋为原材料,乙二醇单甲醚为溶剂,可以获得稳定的SBT溶胶和凝胶.采用Pt/Ti/SiO2/Si基片,通过溶胶-凝胶法在800℃经快速热处理制备出钙钛矿相 SBT薄膜

【作者】

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王文周玉贾德昌叶枫

【机构】

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哈尔滨工业大学

【出处】

：

陶瓷学报

【发表日期】

：

2001年4期

【关键词】

：

溶胶-凝胶 SrBi2Ta2O9 铁电薄膜 sol - gel SiBi2 Ta2 O9 ferroelectric thin films

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以乙醇钽、醋酸锶和硝酸氧铋为原材料,乙二醇单甲醚为溶剂,可以获得稳定的SBT溶胶和凝胶.采用Pt/Ti/SiO2/Si基片,通过溶胶-凝胶法在800℃经快速热处理制备出钙钛矿相 SBT薄膜.XRD结果分析表明,薄膜的择优取向为(115)和(008),其饱和极化强度和剩余极化强度分别为Ps=8.8μC/cm2,Pr=5.2μC/cm2.

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