【摘 要】
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用扫描探针显微镜(SPM)观察了能量76keV、剂量1.7×1017cm-2的N+10团簇离子注入Si(111)单晶表面的形貌.发现在此条件下,注入层已直接转化成具有一定粒度分布的纳米晶结构
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用扫描探针显微镜(SPM)观察了能量76keV、剂量1.7×1017cm-2的N+10团簇离子注入Si(111)单晶表面的形貌.发现在此条件下,注入层已直接转化成具有一定粒度分布的纳米晶结构,并测量了形成晶粒的尺度及分布.用红外吸收实验检测了该实样的光学特性.实验表明,该试样对频带很宽的红外光产生了很强的均匀吸收,在红外光区,其透光度均保持在10%左右,表明其注入层已形成一种品质优良的吸光材料.
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