利用飞行时间质谱研究热阴极蒸发特性

来源 :真空科学与技术学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：nsldp

【摘要】

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提出了采用飞行时间质谱(ToFMS)分析阴极蒸发的成分和速率的新方法.利用ToFMS测试了真空本底、氧化物阴极、浸渍阴极、覆膜阴极等各种阴极蒸发物的成分.研究了阴极蒸发速率与

【作者】

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刘燕文田宏韩勇陆玉新赵青兰徐振英孟鸣凤张哓伟

【机构】

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中国科学院电子学研究所,北京,100080

【出处】

：

真空科学与技术学报

【发表日期】

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2007年5期

【关键词】

：

阴极蒸发飞行时间质谱蒸发速率离子流

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提出了采用飞行时间质谱(ToFMS)分析阴极蒸发的成分和速率的新方法.利用ToFMS测试了真空本底、氧化物阴极、浸渍阴极、覆膜阴极等各种阴极蒸发物的成分.研究了阴极蒸发速率与阴极温度和加热时间的关系.比较了不同阴极蒸发速率的大小.实验结果表明ToFMS是一种非常快捷的研究阴极蒸发的实验手段.最后,研究了阴极各种成分离子峰强度与电离电压的关系.

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