【摘 要】
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美国弗吉尼亚半导体公司决定把两台直拉炉用于生产〈110〉硅单晶,这种材料的晶向偏离〈110〉6°以内。因为{110}结晶面具有各向异性,〈110〉方向的晶体已越来越多地找到各种
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美国弗吉尼亚半导体公司决定把两台直拉炉用于生产〈110〉硅单晶,这种材料的晶向偏离〈110〉6°以内。因为{110}结晶面具有各向异性,〈110〉方向的晶体已越来越多地找到各种用途,如用来制备一种应变仪和用于介电隔离工艺。弗吉尼亚公司专门
Virginia Semiconductor Corporation decided to use two Czochralski furnaces for the production of <110> silicon single crystals, with a material that deviates from the <110> 6 ° orientation. Because of the anisotropy of {110} crystal planes, crystals in the <110> direction have been increasingly found for various uses, such as for the preparation of a strain gauge and for dielectric isolation processes. Virginia company specialized
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