【摘 要】
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系统地研究产业化甚高频等离子体增强化学气相沉积法制备p型a-SiOx∶H薄膜的工艺,并将p型a-SiOx∶H作为a-Si∶H单结电池的窗口层,研究其对电池初始和稳定性能的影响。研究表
【机 构】
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北京工业大学材料科学与工程学院; 福建铂阳精工设备有限公司研发中心;
【基金项目】
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国家自然科学基金(11274028)
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系统地研究产业化甚高频等离子体增强化学气相沉积法制备p型a-SiOx∶H薄膜的工艺,并将p型a-SiOx∶H作为a-Si∶H单结电池的窗口层,研究其对电池初始和稳定性能的影响。研究表明CO2与SiH4流量比（r（CO2/SiH4））、射频功率对a-SiOx∶H薄膜的光电性能影响最大,r（CO2/SiH4）=1.5和功率=444 W时制备的p型a-SiOx∶H薄膜材料性能最优。相对于a-SiCx∶H的p型窗口层,采用优化的p型a-SiOx∶H薄膜作为窗口层的a-Si∶H单结电池具有相同的初始发电功率,但具有更好的稳定性能,降低了光致衰减。电池的光致衰减率相对降低11.2%,功率输出的稳定性相对提升2%。
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