【摘 要】
：
考虑包括热辐射在内的质量传递、动量传递、热量传递三维模型,利用流体力学计算软件,对18对棒西门子多晶硅CVD还原炉实际情况进行数值模拟。考察了两种进气方式下还原炉内的
论文部分内容阅读
考虑包括热辐射在内的质量传递、动量传递、热量传递三维模型,利用流体力学计算软件,对18对棒西门子多晶硅CVD还原炉实际情况进行数值模拟。考察了两种进气方式下还原炉内的流场和温度场分布。计算结果表明,为了实现硅棒均匀沉积,与底盘上分散进气、中心集中出气的还原炉结构相比,中心集中进气、中环与外环之间分散出气的流场及温度场分布更为合理。后者可能有效避免气体在进出口间的＂短路＂现象,又使炉内各处温度分布更为均匀,减小硅棒不均匀生长现象。模拟结果还表明,采用典型工况的数据,还原炉中总能量损失占能量输入的78.9%,
其他文献
<正>1可持续发展的挑战 生活在充满了价值观冲突、利益冲突、有限资源分布不均世界中的人们对这个世界有着太多不太现实的物质期望,这就是我们所谓的“地球村”社会的主要问
多旋翼飞行器具有较好的发展前景,也是近年来的热门研究方向。本文讨论的四轴飞行器是一种四旋翼飞行器。首先介绍四轴飞行器的飞行控制原理;其次逐个阐述了基于CC3200单片机
本文分析了铝合金化学镀的特点,综述了铝合金化学镀Ni-P合金、Ni-W-P等三元合金、Ni-P/Ni-B双层复合镀及Ni-P-微粒化学复合镀的工艺流程及应用。
将谷胱甘肽(GSH)自组装膜修饰电极用于Cr(Ⅵ)的测定.实验表明,在0 02mol/LH2SO4+0 1mol/LNaNO3溶液中,在+1 00～-0 40V电位范围内进行循环伏安扫描,于+0 29V(Vs.SCE)处获得铬
本文介绍在掌上实验室测定不同水样中溶解氧的实验 ,对影响溶解氧的因素进行探究。
对半桥式IGBT逆变焊接电源输出容量的计算进行了理论分析 ,推导出相应的数学表达式 ,在此基础上分析了影响焊机输出容量的主要因素 ,从而为此类型焊接电源变压器的设计提供了
<正>一、创作背景对于华谊兄弟出品的电影一直不能拿出大的态度,理由很简单,他们的电影过于注重宣传效应而忽视对质量的把控,观众往往在看了之后同预期的反差太大而产生骂街
<正>一、达·芬奇与《蒙娜丽莎》的微笑之谜《蒙娜丽莎》的美丽包含了很多方面,而最为人们所称奇的,往往是在于这幅伟大艺术作品里面,蒙娜丽莎的笑容非常令人着迷和不解。可
采用总体幸福表对广西师范学院学生主观幸福感的现状进行测验,对师范大学生主观幸福感在不同背景下的差异进行了测试和分析,并分析测验结果,从而得出结论,形成总结报告。
在全桥DC DC变换器PWM控制技术系统分类的基础上 ,对比分析了四种PWM控制技术的基本原理和特点。分析和实验结果表明 ,针对大功率逆变电源对控制电路的具体要求 ,电流型相移