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为进一步研究聚合物电介质材料聚酰亚胺表面电荷的生成规律和特性，利用Dimension3100型扫描探针显微镜在微纳米尺度下对聚酰亚胺表面进行摩擦产生了电荷，并用静电力显微镜观察了电荷的消散过程．通过对实验结果的分析，得出微纳米尺度下聚酰亚胺表面电荷生成的规律和特性：表面电荷的极性与探针针尖所加偏压保持一致，且表面电荷的密度和作用区域会随着探针针尖所加电压的增加而加大，并随着探针摩擦速度的增加而减小．为探索聚合物电介质材料表面电荷生成规律及特性提供了一条新途径．