【摘 要】
：
文章介绍了一种半导体硅片研磨技术和半导体研磨技术的路线,对半导体研磨技术路线和具体实施方案做了简单介绍,对研磨过程中压力的精确控制、上盘调心、静压主轴控制原理、厚度测量、研磨盘修正等关键技术及其主要零部件做了重点介绍.并展望半导体研磨技术高精度、高稳定性、高自动化和大尺寸的未来发展趋势,指出半导体研磨磨削工艺的必要性和显著优势.
【机 构】
：
临沂科技职业学院,山东 临沂 276025;淄博市淄川区工业和信息化局,山东 淄博 255100
论文部分内容阅读
文章介绍了一种半导体硅片研磨技术和半导体研磨技术的路线,对半导体研磨技术路线和具体实施方案做了简单介绍,对研磨过程中压力的精确控制、上盘调心、静压主轴控制原理、厚度测量、研磨盘修正等关键技术及其主要零部件做了重点介绍.并展望半导体研磨技术高精度、高稳定性、高自动化和大尺寸的未来发展趋势,指出半导体研磨磨削工艺的必要性和显著优势.
其他文献
为探查不同曲线半径和线路激励对车辆动力学性能的影响,应用动力学方法建立车辆-轨道系统动力学模型,计算各动力学评价指标的变化情况.研究结果表明:增加曲线半径有利于增加车辆通过曲线的安全性;车辆经过曲线线路连接处时脱轨概率较大,可重点考虑曲线线路连接位置车辆的运行状态;适当增大曲线半径可以减少轮轨间磨耗,有效降低车轮与轨道的磨耗速度;轨道激励变化对车辆临界速度的影响较大,可根据实际运行工况计算最佳临界速度范围.
随着环保要求的提升,汽车空调系统替代制冷剂的研究显得尤为重要.文章选择低GWP环保工质R1234yf和Isobutane作为R134a的替代品和R134a进行性能比较.与此同时,将和其他性能相近的工质如R407C,R410A和R507A开展热力学评估.R1234yf具有和R134a相近的单位容积制冷量,压缩机无需做出较大改动.压比和排气温度较低.R1234yf作为新一代低GWP环保类工质,是替代R134a的较好工质.
文章阐述了汽车涂装厂喷涂机器人在新车型自主仿形调试过程中所遇到的问题及相应的解决方案.重点介绍了在不新增喷涂机器人及其他设备、不降低生产节拍、保证生产线正常生产的前提下,为解决喷幅重叠率不达标、机器人极限位(死轴)、出现色差及机器人碰撞等问题,采用了优化仿形轨迹、机器人姿态和改变喷涂速度、调整膜厚、固体份及色漆二次成膜比例等方法,使得新车型油漆外观质量达标,最终保证了自主完成汽车涂装厂新增车型的顺利投产.
碳纤维轻量化材料是实现汽车轻量化的重要手段,在汽车领域具有广泛应用前景,文章对VARI成型工艺碳纤维引擎盖进行研究,根据VARI成型工艺特点及引擎盖力学性能设计了引擎盖的工艺流程和铺层方式,在有限元软件中建立了VARI成型碳纤维引擎盖有限元模型,并对VARI成型引擎盖的刚度进行有限元计算分析.结果表明,VARI成型碳纤维引擎盖的安装变形、边缘变形、扭转刚度、冲击变形均符合设计要求,采用VARI成型工艺可有效降低引擎盖重量,实现车身轻量化.